准备工作

• 将样片用导电胶粘在样品台上
• 对于导电性差的样品进行喷金处理
• 打印预约单据

上机操作

找到目标区域并对焦

• 老师上完样品后，点击屏幕左上角ON
• 鼠标可拖动视野，双击瞄准
• 找到目标样片后高倍放大，在2-3k对准杂质对焦，COARSE粗调，FINE精调
• 点击Red1可进一步对焦，但是该区域会由于大电流轰击而变黑，对焦完后点击Fast1
• 在更高倍率下对焦，缩小后视野更清晰

拍照保存

• 点击CS 1280进行拍照，拍照完后点击RUN继续取景
• 照片栏点击ALL全选后保存到相应导师文件夹
• 将本地文件夹拖动到网盘文件夹中进行云端传输
• 切换到低场倍率，点击Home视野回中，点击OFF，等待老师取样

文件读取

• 连上SUDA-WIFI
• 在文件管理器地址栏输入ftp://42.244.17.31/chenhong/SEM（SEM大写）
• 输入账号密码
• 找到刚刚的文件夹复制到桌面

总结

好了，简单的SEM操作就这么完成了，至于用不到的功能就不管了。

bilibili也有不少教程。